浙江泓芯半导体有限公司取得一项名为“用于半导体器件制程设备中的石英舟“，授权公告号CN117976587B
本发明公开了用于半导体器件制程设备中的石英舟，包括支撑结构、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑结构两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑结构固定连接；限位组件一包括内弧和外弧，内弧和外弧之间形成有下部滑动轨道；限位组件二包括内环和外环，外环与外弧固定连接，外环和内环间固定连接有多个分道块，使得内环和外环之间形成多个上部滑动轨道，内环和内弧上均滑动连接多个止动组件；槽棒端部贯穿对应的下部滑动轨道或上部滑动轨道，以使得槽棒沿下部滑动轨道或上部滑动轨道移动，止动组件跟随槽棒移动，对槽棒抵接，以此形成多个不同规格的晶圆放置空间。